幾種掃描電鏡sem的比較-華普通用
幾種掃描電鏡sem的比較
光鏡(OM)的出現(xiàn),開辟了微觀視野。1939年德國(guó)人B.Borris和E.Ruska推出第一臺(tái)商業(yè)透射電鏡(TEM),分辨率提高到亞微米范圍。透射電鏡與光鏡有許多類同之處,例如:光源、分辨率、放大倍率、透鏡、像差、衍射等光學(xué)術(shù)語均通用。兩者之間的差異有幾個(gè)方面,透射電鏡是利用高能短波長(zhǎng)電子束照明樣品代替光鏡使用的可見光,掃描電鏡sem利用電磁透鏡組合構(gòu)成電子光學(xué)成像系統(tǒng),現(xiàn)代透射電鏡放大倍率可高達(dá)數(shù)十萬倍,分辨率優(yōu)于0.2nm。到20世紀(jì)60年代,第一臺(tái)商用掃描電鏡(SEM)由英國(guó)Cambridge科學(xué)儀器公司推出。如圖所示,熒光顯示屏6英寸,分辨率50nm,電子系統(tǒng)全部使用電子管,其成像原理與上述兩種系統(tǒng)不同。圖為三種顯微鏡的光路系統(tǒng)。
實(shí)驗(yàn)室中常用的光鏡,例如:金相或雙目體視顯微鏡,雖然可以觀察大塊樣品,但分辨率、放大倍率和景深都較低。透射電鏡分辨率高,但樣品制備要求苛刻,使其在應(yīng)用上受到較大的限制。掃描電鏡sem功能齊全,使用方便,彌補(bǔ)了光學(xué)顯微鏡和透射電鏡的不足,又兼有兩者的優(yōu)點(diǎn),在各領(lǐng)域和多學(xué)科中獲得廣泛應(yīng)用。掃描電鏡sem利用精細(xì)聚焦電子束照射在樣品表面,該電子束可以是靜止或在樣品表面作光柵掃描。在這個(gè)過程中,電子束與樣品相互作用產(chǎn)生各種信號(hào),其中包括二次電子、背散射電子、俄歇電子、特征X射線和不同能量的光子等,這些信號(hào)來自樣品中的特定區(qū)域,分別利用探測(cè)器接收,可以提供樣品的各種信息,用于研究材料的微觀形貌、晶體學(xué)特征和微區(qū)化學(xué)成分。