直讀光譜儀入射光路結(jié)構(gòu)

    由圖可知，入射光路除入射狹縫(25um寬)之外還有球面反射鏡。它的作用是將兩個(gè)樣品臺(tái)上激發(fā)的光譜亮度全部反射到入射狹縫。為了提高紫外光200nm以下元素的反射能力，凹面反射鏡表面需涂氟化鎂，人射狹縫和球面反射鏡裝在真空室內(nèi)。在圖中，光路中具有兩個(gè)反射鏡，其中之一是在右樣品臺(tái)激發(fā)樣品時(shí)，使反射鏡進(jìn)入光路，汞燈反射鏡退出光路，將激發(fā)光亮射到球面放射鏡上。然后進(jìn)入入射狹縫到達(dá)凹面光柵分光Hg反射鏡是供狹縫掃描時(shí)用的，當(dāng)左樣品架激發(fā)樣品時(shí)，進(jìn)入曝光階段，Hg反射鏡將退出光路，使左樣品架激發(fā)光引入球面反射鏡，進(jìn)入人射狹縫到達(dá)凹面光柵進(jìn)行分光。

   光路中兩個(gè)反射鏡區(qū)域處于非真空狀態(tài)。對(duì)于短紫外線的元素（C、P、S、As、B、Sn等等）這是一個(gè)致命的問題。這個(gè)區(qū)域中存在氧氣、空氣、水汽將200nm以下波段的輻射吸收掉。光電直讀光譜儀無法分析這些元素的含量。氧的吸收曲線195nm的輻射都有吸收，而在140nm附近吸收最激烈。

   在兩個(gè)反射鏡的區(qū)域內(nèi)，密封相當(dāng)重要。Hg燈亮光通過石英窗玻璃進(jìn)入反射鏡，兩個(gè)樣品臺(tái)通過滑板上裝的石英玻璃進(jìn)行密封，平時(shí)這個(gè)區(qū)域總有靜態(tài)氬存在，即使不分析樣品期間，所有的樣品激發(fā)的亮度和Hg燈亮度通過大石英窗進(jìn)人光學(xué)室。由于貝爾德采用這種人射光路的結(jié)構(gòu)，存在的最大問題是氬氣消耗量大。目前，國內(nèi)光電直讀光譜儀生產(chǎn)廠家大部分采用所示的分光系統(tǒng)。

    在人射光路部分通過聚焦鏡和樣品臺(tái)隔離。分光系統(tǒng)全部在真空室內(nèi)。樣品臺(tái)到聚焦鏡這段距離可以做得很密封。氬氣沖洗從這里進(jìn)入，然后到達(dá)電極架的燃燒腔。由于樣品臺(tái)燃燒腔內(nèi)存在一個(gè)反向氬氣壓力，靜態(tài)氬的消耗相當(dāng)小。這種結(jié)構(gòu)的分光系統(tǒng)采用基體元素例如Fe*R等進(jìn)行狹縫掃描（光譜儀使用前的光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn))。沒有Hg燈進(jìn)行狹縫掃描。斯派克光電直讀光譜儀采用手動(dòng)的方法微微改變?nèi)松洫M縫的位置到達(dá)出射狹縫上譜線極大位置。德國斯派克光電直讀光譜儀采用直線電機(jī)控制入射狹縫系統(tǒng)，軟件自動(dòng)掃描，這樣可以克服手動(dòng)和機(jī)械結(jié)構(gòu)帶來的調(diào)整誤差。

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