掃描電鏡圖像處理

當(dāng)在觀察某個(gè)深孔內(nèi)部細(xì)節(jié)時(shí)，孔內(nèi)是黑的，而周邊襯度合適。起因是內(nèi)孔產(chǎn)生的大量信號(hào)電子被孔壁吸收，只有小部分跑出達(dá)到探測(cè)器，這個(gè)弱信號(hào)按常規(guī)放大，人眼看不見。提高圖象襯度和亮度，孔內(nèi)細(xì)節(jié)如果能看清，其周邊就過亮了、人眼對(duì)圖像襯度的察覺是有限的。圖象處理的目的就是在探測(cè)器的后續(xù)階段、通過各種圖象處理技術(shù)改善圖象襯度，使其更適合人眼觀察。圖像處理有模擬法和數(shù)字法，其中包括直方圖處理、襯度反轉(zhuǎn)、微分放大、非線性放大(Y control)、信號(hào)混合、Y調(diào)制、降噪(noise ·eduction)等。非線性放大和降噪比較常用。

仍然以觀察孔洞為例，通常由于二次電子邊緣效應(yīng)，造成空洞邊緣很亮，而孔內(nèi)又很黑，兩處的細(xì)節(jié)均看不清。當(dāng)選用某個(gè)非線性放大值后，為看清孔洞內(nèi)細(xì)節(jié)而提高亮度時(shí)，孔的邊緣亮度又被抑制，是放大器按了曲線處理信號(hào)的功能。

電鏡是掃描成像，自然會(huì)有隨機(jī)噪聲疊加在圖僚上，若幀掃時(shí)間短，噪聲更嚴(yán)重，圖上覆蓋著不規(guī)則閃動(dòng)的白點(diǎn)，細(xì)節(jié)看不清，有如“霧里看花”。對(duì)圖像進(jìn)行降噪處理可以濾除噪聲。其方法有多種，如幀平均、像素平均、線積分、卷積濾波、卡爾曼濾波等。因?yàn)槭怯?jì)算機(jī)控制的實(shí)時(shí)處理，過程很快，所以使用時(shí)可根據(jù)圖像細(xì)節(jié)任意選用，看哪種方法好。

圖像處理是對(duì)圖襯度、亮度或噪聲進(jìn)行加工，最后獲得一幅人眼可以識(shí)別和接受的改善圖像。應(yīng)注意，如果樣品本身的自然襯度不存在，或者細(xì)節(jié)清晰度不好，后期應(yīng)用的各種處理技術(shù)均不會(huì)增加任何信息。

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